Application des capteurs de déplacement laser à la mesure du diamètre des lingots de silicium
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- Éditeur
- Zoe
- Heure de diffusion
- 2024/11/19
Résumé
Les capteurs de déplacement laser sont des outils essentiels pour mesurer le diamètre des lingots de silicium, offrant une haute précision, des capacités en temps réel et des avantages de mesure sans contact. En optimisant la disposition des capteurs, le traitement des données et les conditions environnementales, ces capteurs peuvent améliorer considérablement l'efficacité de la mesure et la qualité du produit, offrant ainsi un support solide pour le traitement ultérieur des lingots de silicium.
Importance de la mesure du diamètre des lingots de silicium
Le diamètre des lingots de silicium est un paramètre de qualité critique dans les industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque, impactant différentes étapes de production et de traitement :
Contrôle de qualité
Garantit que le diamètre du lingot de silicium soit conforme aux spécifications de conception, évitant ainsi les difficultés de traitement ou la dégradation des performances causées par des diamètres irréguliers. Par exemple, des écarts supérieurs à ± 0,02 mm peuvent avoir un impact significatif sur la précision de découpe des plaquettes.
Découpe de gaufrettes
Fournit des références dimensionnelles précises pour la découpe de plaquettes, garantissant la cohérence de l'épaisseur et de la taille des plaquettes coupées, améliorant ainsi l'uniformité et le rendement du produit.
Compatibilité des équipements
Garantit que le diamètre du lingot de silicium correspond aux exigences de l'équipement de traitement ultérieur, réduisant ainsi le temps de configuration de l'équipement et améliorant l'efficacité de la production.
Optimisation des performances
Le diamètre du lingot de silicium influence directement les propriétés clés telles que la résistance mécanique et la conductivité thermique, ce qui a un impact significatif sur la qualité du produit final.
Méthodes courantes de mesure du diamètre des lingots de silicium
Capteurs de déplacement laser
Principe : Utiliser une mesure sans contact pour calculer le diamètre en détectant les changements de position du faisceau laser réfléchi sur la surface du lingot.
Caractéristiques : Haute précision (jusqu'à ±2 μm), mesure rapide, adaptée à la mesure en ligne avec des capacités de surveillance en temps réel.
Applications : Idéal pour les scénarios de rotation à grande vitesse ou de détection en ligne de haute précision.
Systèmes de mesure optique
Principe : Mesurer le diamètre du lingot de silicium à l'aide d'une technologie de traitement d'image, comme la capture d'images de surface avec une caméra CCD et le calcul des dimensions.
Caractéristiques : Convient pour l'inspection hors ligne, avec une précision plus élevée mais sensible à la propreté de la surface et aux conditions d'éclairage stables.
Applications : Utilisé dans les scénarios nécessitant une précision de mesure extrêmement élevée ou l'enregistrement simultané de caractéristiques de surface.
Pieds à coulisse mécaniques
Principe : Mesurer directement le diamètre du lingot de silicium par contact.
Caractéristiques : Simple et portable mais avec une précision relativement faible (environ ± 0,1 mm). Repose sur un fonctionnement manuel et ne convient pas aux applications industrielles nécessitant une grande précision.
Applications : Mesures rapides sur le terrain ou contrôles préliminaires de faible précision.
Application des capteurs de déplacement laser à la mesure du diamètre des lingots de silicium
Grâce à leur haute précision et à leurs capacités de mesure sans contact, les capteurs de déplacement laser sont devenus une technologie de base pour la mesure du diamètre des lingots de silicium. Voici les solutions typiques :
Conception de la disposition des capteurs
Mesure multipoint environnante : plusieurs capteurs de déplacement laser sont disposés autour du lingot de silicium pour capturer simultanément des données de diamètre en plusieurs points, permettant le calcul du diamètre moyen et de la rondeur.
Détection en temps réel en ligne : les capteurs sont installés au-dessus de la ligne de production, utilisant leurs capacités de mesure à grande vitesse pour obtenir une détection ininterrompue pendant la rotation des lingots.
Collecte et traitement des données
Compensation d'algorithme intelligent : les algorithmes sont utilisés pour corriger les interférences environnementales (par exemple, les variations de réflectivité de surface ou de lumière ambiante), garantissant ainsi l'exactitude des données.
Surveillance et alarmes en temps réel : les systèmes logiciels surveillent les données de mesure en temps réel. Si l'écart de diamètre dépasse une plage prédéfinie (par exemple, ± 0,02 mm), des alarmes sont déclenchées ou les paramètres du processus sont automatiquement ajustés.
Mesure de distance de haute précision
GFL-G30N(P)M, (Sortie analogique et sortie de commutation, précision : 0,002 mm)
GFL-G30N(P)-485, (communication RS-485 et sortie de commutation, précision : 0,002 mm)
GFL-G50N(P)M, (Sortie analogique et sortie de commutation, précision : 0,005 mm)
GFL-G50N(P)-485, (communication RS-485 et sortie de commutation, précision : 0,005 mm)
GFL-G85N(P)M, (Sortie analogique et sortie de commutation, précision : 0,01 mm)
GFL-G85N(P)-485, (communication RS-485 et sortie de commutation, précision : 0,01 mm)
GFL-G120N(P)M, (Sortie analogique et sortie de commutation, précision : 0,03 mm)
GFL-G120N(P)-485, (communication RS-485 et sortie de commutation, précision : 0,03 mm)
GFL-G250N(P)M, (Sortie analogique et sortie de commutation, précision : 0,075 mm)
GFL-G250N(P)-485, (communication RS-485 et sortie de commutation, précision : 0,075 mm)
